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                                  华海清科项目

                                  发布时间:2021.06.02 作者: 来源: 访问人数:1096

                                  华海清科是国内唯一一家能够提供12寸CMP设备的高新技术企业,产品可广泛应用于极大规模集成电路制造、晶圆平坦化、基片制造等领域。公司核心团队由中国科学院院士雒建斌教授带领,以清华大学摩擦学国家重点实验室为技术依托,研发经验丰富。公司目前拥有国内外授权专利147项,软件著作权5项,生产的CMP设备广泛应用于中芯国际、长江存储、华虹集团、英特尔、长鑫存储、上海积塔等先进集成电路制造商的大生产线中。

                                  我司参股的石溪产恒基金于2020年3月对华海清科投资3000万元,2020年10月,华海清科申报科创板。


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